Один лишний атом — и партия чипов окажется на свалке. Китай запускает производство сверхчистого газа для полупроводников

Китайская компания Sinochem начала пробное производство хлористого водорода чистотой более 99,9999% для полупроводников. Рассказываем, зачем этот газ нужен микросхемам и какое отношение к этой теме имеет украинский неон.

Одна случайная примесь или молекула может испортить целую партию микросхем. Чтобы избежать микроскопических дефектов, производители полупроводников используют специальные газы, очищенные практически до совершенства. Китай расширил поставки одного из таких материалов, ещё на шаг приблизившись к локализации производства чипов.

Что удалось китайским химикам

Haohua Yuhang, дочерняя компания государственного химического гиганта Sinochem Holdings, приступила к пробному производству сверхчистого хлористого водорода. По сообщениям китайских СМИ, первый запуск прошел успешно. Испытания подтвердили чистоту газа свыше 99,9999%, а общее содержание примесей не превышает 0,2 части на миллион.

Зачем чипам хлористый водород

Кремниевые пластины являются основой современной электроники, поэтому их чистота определяет качество всех последующих этапов производства. Сверхчистый хлористый водород используется для очистки и подготовки пластин на микроскопическом уровне. Когда газ вступает в реакцию с кремнием или следами металлов, примеси превращаются в газообразные побочные продукты, которые легко откачиваются из камеры без каких-либо остатков. Так удаляются поверхностные дефекты и оксиды, не повреждая сам кристалл. После этого пластина остается идеально гладкой, и новые слои формируются без дефектов. Также хлористый водород применяют для полировки пластин, травления микроскопических узоров и обработки поверхностей перед наращиванием полупроводниковых слоев.

Добавьте GSMinfo в источники в Google News Чтобы видеть наши публикации в своей ленте новостей

Обычный промышленный хлористый водород содержит следы влаги, азота, кислорода, углекислого газа и различных хлорсиланов. Чтобы довести чистоту до электронного уровня, требуются специальные ректификационные колонны из коррозионностойких сплавов, а также криогенные и адсорбционные системы очистки. Команда Sinochem доработала собственные методы дистилляции и очистки, внеся несколько технических изменений перед окончательным утверждением процесса.

Что это означает для Китая

У Китая уже есть внутренние поставщики в этой нише, например, компания GrandiT Technology из провинции Чжэцзян. Однако появление государственного игрока уровня Sinochem существенно усиливает национальный потенциал. Пока что производство Haohua Yuhang находится на пробной стадии, и главным вызовом станет переход от успешных первых испытаний к непрерывному коммерческому выпуску.

Для Украины эта новость имеет особый привкус. До 2022 года две украинские компании, Ingas из Мариуполя и Cryoin из Одессы, по подсчетам Reuters, поставляли от 45 до 54% мирового неона полупроводникового класса, необходимого для лазеров, используемых в производстве чипов. Из-за войны Ingas была уничтожена во время осады города, а Cryoin приостановила работу, и отрасль была вынуждена срочно искать другие источники. История показала, насколько уязвимыми бывают цепочки поставок специальных газов, и Китай, инвестируя в собственное производство, стремится уменьшить такую зависимость.

Поделиться этой статьей